Компьютерное моделирование и экспериментальные исследования закономерностей плазмохимического осаждения тонких пленок нитрида кремния
| Authors |
|
|---|---|
| Publication date | 2014 |
| Host editors |
|
| Book title | Неделя науки СПбГПУ : материалы Научно-практической конференции с международным участием, 2-7 декабря 2013 года |
| Book subtitle | Институт металлургии, машиностроения и транспорта |
| ISBN |
|
| Event | International conference "The 42nd Science Week" |
| Volume | Issue number | 2 |
| Pages (from-to) | 31-33 |
| Publisher | Sankt-Peterburg: Sankt-Peterburgskii gosudarstvennyi politekhnicheskii universitet |
| Organisations |
|
| Document type | Conference contribution |
| Language | Russian |
| Published at | https://week-science.spbstu.ru/userfiles/volumes/66/file.pdf |
| Downloads |
42nd Science Week
(Final published version)
|
| Permalink to this page | |
