Компьютерное моделирование процесса осаждения многослойных структур на основе нитрида кремния методом РЕСVD

Authors
Publication date 2011
Book title Наука и инновации в технических университетах : Материалы пятого всероссийского форума студентов, аспирантов и молодых ученых
Book subtitle 28 сентября-1 октября 2011 года
Event International conference "The 40th Science Week"
Pages (from-to) 12-13
Publisher St. Peterburg: Izdatelstvo Politekhnicheskogo Universiteta
Organisations
  • Faculty of Science (FNWI) - Informatics Institute (IVI)
Document type Conference contribution
Note Best presentation award. In Russian
Language Russian
Permalink to this page
Back