Моделирование механизма образования силаммониевых радикалов в технологии плазмохимического осаждения нитрида кремния азота с малым содержанием
| Authors |
|
|---|---|
| Publication date | 2012 |
| Book title | ХLI Неделя науки СПбГПУ |
| Book subtitle | материалы международной научно-практической конференции |
| Event | International conference "The 41st Science Week" |
| Volume | Issue number | 6 |
| Pages (from-to) | 132-135 |
| Publisher | Sankt-Peterburg: Sankt-Peterburgskii gosudarstvennyi politekhnicheskii universitet |
| Organisations |
|
| Document type | Conference contribution |
| Language | Russian |
| Downloads |
2012 Polytech Science Week_132
(Final published version)
|
| Permalink to this page | |
